Agilent TPS Turbo Pumping Systems Features and Benefits 说明书

Varian的TPS Turbo Pumping Systems是一种便携式、完全集成的真空解决方案，可作为轻便的干式台式解决方案，适用于小型和中型容积，或高容量、宽泵速范围的推车版本。TPS-compact具有独特的IDP-3干式滚动泵，具有最紧凑和轻巧的设计，集成泵隔离阀，成本效益高且易于更换尖端密封。TPS-compact / Mini-TASK AG81具有活动式全范围组合压力计，可提供从大气到5x10-9mbar（7x10-9Torr）的Pirani和冷阴极压力数据，压力数据可通过串行通信、模拟输出或在正常操作期间与TPS-compact / Mini-TASK断开连接。