Model XR67 Pressure Regulator (For medium flow rate) 说明书
本文档介绍了一种用于半导体制造过程中的流体测量设备。该设备适用于各种工艺气体,并在正常工作条件下使用,不会引发火灾或爆炸。具有高压和低压两种规格,最大流量分别为200L/min和100L/min。接口为1/4和3/8,使用温度范围为-5℃至40℃,保存温度范围为-5℃至50℃。关于材料和表面处理方面,该设备采用了耐腐蚀材料和特殊的表面处理技术,确保高品质和超净化。
厂商: MODEL
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上传时间: 2012-02-21 16:17:00
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